MOS工艺包括有哪几种?MOS工艺的重要参数是什么?什么是特征尺寸?
PMOS、NMOS、COMS、BiCMOS 沟道载流子特性、栅极材料、金属层数、特征尺寸工艺可以实现的平面结构的最小尺寸
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