微电子器件的特征尺寸继续缩小的关键技术有哪些?
第一个关键技术层次:微细加工; 第二个关键技术:互连技术; 第三个关键技术:新型器件结构,新型材料体系(高K介质,金属栅电极,低K介质,SOI材料)。
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