接触曝光方式的关键技术有哪些?它的主要优缺点是什么?
需要一股很粗的光束、一个很大的透镜,以及一套良好的光学系统; 精确度较高但非理想接触导致LSI芯片合格率不高,掩膜和晶圆每次接触都会产生磨损,掩膜消耗大。
从狭义上说,信息技术(Information Technology)是指以微电子技术、通信技术、( )为主干,结合集成电路技术、光盘技术、机器人技术、高清晰度电视技术等的综合技术.
免费的网站请分享给朋友吧