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接触曝光方式的关键技术有哪些?它的主要优缺点是什么?

问答题
2022-01-04 05:44
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正确答案

需要一股很粗的光束、一个很大的透镜,以及一套良好的光学系统;
精确度较高但非理想接触导致LSI芯片合格率不高,掩膜和晶圆每次接触都会产生磨损,掩膜消耗大。


试题解析

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