集成电路制造需要在告别净化环境下进行,而光刻区对净化级别要求最高,如普通制造环境为1000级,则光刻区的净化环境则为10000级。
某炼油厂尾气中含有大量的挥发性有机化合物、烃类、有机硫化物,为了防止危及人身安全,需要对炼油厂尾气进行净化,常用的净化方法是( )。
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