X射线光电子能谱是以X射线光子激发样品材料产生光电子来分析材料成分和原子价态等。
它的分析特点有：
1.分析的成分是材料10nm以内的表层成分；
2.可以通过对化学位移的分析，给出所含元素的化学结构；
3.是一种无损分析方法（样品不被X射线分解）；
4.是一种超微量分析技术（分析时所需样品量少）；
5.是一种痕量分析方法（绝对灵敏度高）。但X射线光电子能谱分析相对灵敏度不高，只能检测出样品中含量在0.1%以上的组分。