电子束烟气脱硫工艺是一种物理方法和化学方法相结合的高新技术。它是利用高能电子对烟气的照射产生的活性基因氧化去除SO2、NOX气态污染物，其过程可分为三个反应过程：
1、游离基的生成：当用高能电子束辐射烟气时，电子束能量大部分被N2、O2、H2O所吸收，生成活性很强的游离基OH基，O原子、HO2基、N基
2、SO2、NOX氧化：
烟气中的SO2、NOX与产生的游离基OH、O、HO2进行反应，分别氧化成硫酸H2SO4和硝酸HNO3
3、氨气反应生成硫酸铵和硝酸铵。