• 问答题 什么是固相外延（SPE）及固相外延中存在的问题？

  标签：半导体制造技术 2022-01-10 02:48

• 问答题 什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？

  标签：半导体制造技术 2022-01-04 13:34

• 问答题 MEMSSi加工工艺主要分为哪两类，它们最基本的区别是什么？

  标签：半导体制造技术 2021-12-25 21:58

• 问答题 以P2O2为例说明SiO2的掩蔽过程。

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

• 问答题 说明SiO2的结构和性质，并简述结晶型SiO2和无定形SiO2的区别。

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

• 问答题 简述几种常用的氧化方法及其特点。

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

• 问答题 什么是两步扩散工艺，其两步扩散的目的分别是什么？

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

• 问答题 假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

• 问答题 以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

• 问答题 写出菲克第一定律和第二定律的表达式，并解释其含义。

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

• 问答题 杂质原子的扩散方式有哪几种？它们各自发生的条件是什么？从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

• 问答题 集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺？各有什么优缺点？

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

• 问答题 分别简述RVD和GILD的原理，它们的优缺点及应用方向。

  标签：半导体制造技术 2021-09-18 02:34

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