MEMSSi加工工艺主要分为哪两类,它们最基本的区别是什么?
Si工艺 体硅微机械加工工艺(Bulkmicromaching)——用晶圆自身材料来制作MEMS结构
优势:可用于制作大的深宽比、很厚的结构
表面微机械加工工艺(Surfacemicromachining)——与IC工艺兼容 牺牲层制作 阻挡层制作 牺牲层释放工艺
信息技术(InformationTechnology,IT)是应用信息科学的原理和方法研究信息产生、传递、处理的技术,具体包括信息的产生、收集、交换、存储、传输、显示、识别、提取、控制、加工和利用等方面的技术。现代信息技术主要包括( ),它们相当于人类的思维器官、神经系统、感觉器官和效应器官。而与半导体材料紧密相关的微电子技术是它们的基础。
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