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MEMSSi加工工艺主要分为哪两类,它们最基本的区别是什么?

问答题
2021-12-25 21:58
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正确答案

Si工艺  体硅微机械加工工艺(Bulkmicromaching)——用晶圆自身材料来制作MEMS结构

优势:可用于制作大的深宽比、很厚的结构

表面微机械加工工艺(Surfacemicromachining)——与IC工艺兼容   牺牲层制作   阻挡层制作  牺牲层释放工艺


试题解析

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信息技术(InformationTechnology,IT)是应用信息科学的原理和方法研究信息产生、传递、处理的技术,具体包括信息的产生、收集、交换、存储、传输、显示、识别、提取、控制、加工和利用等方面的技术。现代信息技术主要包括(   ),它们相当于人类的思维器官、神经系统、感觉器官和效应器官。而与半导体材料紧密相关的微电子技术是它们的基础。

半导体只读存储器(ROM)与半导体随机存储器(RAM)的主要区别在于( )。
地应力测量方法分哪两类?两类的主要区别在哪里?每类包括哪些主要测量技术?
在半导体制造工艺中往往把减薄、划片、分片、装片、内引线键合和管壳封装等一系列工艺称为()。
因半导体中掺加的杂质不同,含杂质半导体可分为()型半导体和()型半导体两类。
单晶硅棒和PN结的制造技术等,与()以及()等半导体制造技术有较多共同部分,且历史悠久,实际业绩突出。
MEMSSi加工工艺主要分为哪两类,它们最基本的区别是什么?
最早用于制造太阳能电池的半导体材料是()。
衡量半导体存储器的最重要的指标是存储器芯片的()和存储速度。
Cache存储器一般采用SRAM半导体芯片,而主存条主要由( )半导体组成。
半导体存储器芯片的存储容量取决于该芯片的()总线的条数和()总线的位数。
以半导体芯片为存储介质的设备()。
半导体只读存储器(ROM)与半导体随机存储器(RAM)的主要区别在于()。
半导体只读存储器(ROM)与半导体随机存储器(RAM)的主要区别在于()。
半导体只读存储器(ROM)与半导体随机存储器(RAM)的主要区别在于( )。
世界上最大的半导体芯片制造商是()。
80C51芯片采用的半导体工艺是()。
半导体芯片制造工艺对水质有什么要求?
半导体芯片制造工艺对气体有什么要求?
用于半导体照明的芯片技术的发展主流是什么?
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