半导体芯片制造工艺对水质有什么要求?
半导体芯片制造工艺对水质的要求极为严格,纯水质量对半导体芯片的性能、质量、成品率有极大的影响。随着高度集成复杂电路和微波器件的发展,对纯水质量的要求也不断提高。 超纯水水质指标的变化:
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