在双极集成电路制造中,为什么要采用外延和埋层工艺?
①外延:外延生长时控制气相反应中的杂质可以方便地形成不同导电类型、不同杂质浓度且杂质分布陡峭的外延层,满足某些特殊器件对材料结构和杂质分布的特殊要求。可以提高集电结击穿电压,而且比较好地解决了双极集成电路中的隔离问题。
②埋层:减小集电区串联电阻,改善其频率特性。
机电一体化系统是以微电子技术为主体、以机械部分为核心,强调各种技术的协同和集成的综合性技术。
从狭义上说,信息技术(Information Technology)是指以微电子技术、通信技术、( )为主干,结合集成电路技术、光盘技术、机器人技术、高清晰度电视技术等的综合技术.
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