超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度,不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外,还要求导轨的材料具有()、()和()。
导轨的精度直接影响机床的精度,静压导轨与滚动导轨相比,其抗振性( )。
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