⑴静电吸附灰尘，改变线路间的阻抗，影响产品的功能与寿命。
⑵因电场或电流破坏元件的绝缘或导体，使元件不能工作（完全破坏）。
⑶因瞬间的电场或电流产生的热，元件受伤，仍能工作，寿命受损。
静电放电损伤可分为2类失效模式：突发性完全失效和潜在性失效。突发性完全失效是器件的一个或多个参数突然劣化，完全失去规定功能的一种失效，如介质击穿、烧毁或永久性失效。潜在性缓慢失效是指对于某些集成电路虽然PN结已受到ESD损伤，但电路的参数退化并不明显，只给电路留下了隐患，它使该电路在以后的加电工作中参数退化逐渐加重，因此ESD损伤具有潜在性和累积性的特点。