简述电磁控制微位移工作台的特点及其应用。
电磁控制微位移工作台结构简单,控制系统易于实现,行程大,驱动力也较大。位移分辨率可达0.1μm,因此应用比较广泛,有单坐标、双坐标甚至多坐标的电磁控制微位移工作台实例。
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