真空干燥的加热方式与热风干燥相同，均采取排管通蒸汽，靠空气对流、辐射和热传导的方式传热。但真空干燥则在线圈（器身）热透符合工艺规定要求后，开始进入真空状态下的干燥过程。在逐级提高真空度的情况下，可以在绝缘件内外形成压差，促使绝缘件内层的水分向表面排出。这样，就可以显著缩短干燥处理时间，真空罐内的真空度越高，则绝缘件中的水份干燥越彻底。每个干燥处理过程可分为两个基本阶段：
①加热阶段。此时线圈或器身加热达到工艺要求的温度，为绝缘件大量排出水份创造有利条件。
②排水干燥过程，此时从线圈绝缘件中挥发出大量的水份，达到彻底干燥为止。