（1）由于六氟化硫比空气重，会积聚在地面附近，要注意防止因缺氧而窒息。设备安装室内应具有良好的通风系统，通风量应保证在15min内换气一次。抽风口应设在室内下部。
（2）设备解体时，应注意六氟化硫气体中存在的有毒气体和设备内产生的粉尘，对人体呼吸系统及粘膜等有一定的危害，一般中毒后会出现不同程度的流泪、打喷嚏、流涕，鼻腔咽喉有热辣感，发音嘶哑、咳嗽、头晕、恶心、胸闷、颈部不适等症状。发生上述中毒现象时，应迅速将中毒者移至空气新鲜处，并及时进行治疗。
（3）将清出的吸附剂、金属粉末等废物放入酸或碱溶液中处理至中性后，进行深埋处理，深度应大于0.8m，地点选在野外边远地区、下水处。