大规模集成电路有考虑用氧化铍作为基板,是利用了它哪几种物理性能?氧化铍生产中应该采取安全保护措施,原因是什么?
BeO具有与金属相近的导热系数,约为309.34W/(m·K),是α-Al2O3的15~20倍。BeO具有好的高温电绝缘性能,介电常数高,介质损耗小,BeO热膨胀系数不大。但机械强度不大,仅氧化铝的1/4。BeO有剧毒,操作时必须注意防护。
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