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什么叫TFT技术?TFT技术的主要特点是什么?

问答题
2022-01-02 20:41
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正确答案

TFT技术是20世纪90年代发展起来的、采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制技术,是液晶(LC.、无机和有机薄膜电致发光(EL和OEL)平板显示器的基础。
TFT技术的主要特点有:
①大面积。自十几年前第一代大面积玻璃基板(300mm×400mm)TFTLCD生产线投产,到近年来投入运行的产品,玻璃基板的面积已经扩大到(950mm×1200mm),原则上面积的限制已经不是问题。
②高集成度。用于液晶投影的1.3inTFT芯片的分辨率为XGA,含有百万个像素。分辨率为SXGA(1280×1024)的16.1英寸的TFT阵列非晶体硅的膜厚只有50nm,包括TABONGLASS和SYSTEMONGLASS技术在内,其IC的集成度、对设备和供应技术的要求,难度都超过传统的LSI。
③功能强大。TFT最早作为矩阵选址电路,改善了液晶的光阀特性。对于高分辨率显示器,通过0~6V范围的电压调节(典型值0.2~4V),实现了对像素的精确控制,从而使LCD实现高质量、高分辨率显示成为可能。TFTLCD是人类历史上第一种在显示质量上超过CRT的平板显示器。现在,已经开始把驱动IC集成到玻璃基板上,整个TFT的功能将更加强大,这是传统的大规模半导体集成电路所无法比拟的。
④低成本。玻璃基板和塑料基板从根本上解决了大规模半导体集成电路的成本问题,为推广应用开拓了广阔的空间。
⑤工艺灵活。除了采用溅射、CVD(化学气相沉积)和MCVD(分子化学气相沉积)等传统工艺成膜以外,激光退火技术也开始应用,既可以制作非晶膜、多晶膜,也可以制造单晶膜。不仅可以制作硅膜,也可以制作其他Ⅱ-Ⅵ族、Ⅲ-Ⅴ族半导体薄膜。
⑥应用领域广泛。以TFT技术为基础的液晶平板显示器是信息社会的支柱产业,其技术可应用到正在迅速成长中的薄膜晶体管有机电致发光(TFT-OLED.平板显示器中。


试题解析

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