衬底清洗过程包括哪几个步骤?
(1)擦洗表面的大块污物;(2)浸泡;(3)化学腐蚀;(4)水清洗;(5)干燥。
智能功率模块(IPM)指的是该电路至少把逻辑控制电路和功率半导体管集成在( )芯片上。
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