EPMA是电子探针显微分析的英文缩写，主要用途是准确测量矿物微区的化学成分。这种分析方法优点在于：灵敏度高，分析速度快、不破坏样品、分析元素范围大等优点。除了进行点分析之外，还能够提供线扫描和面扫描分析，用于研究元素含量的变化规律。因此，该方法是目前研究物质成分常用的方法。同时，该方法也有一定的局限：只能分析固态样品，对有机物质分析困难；不能分析元素的同位素、各种形式的水及其他挥发组分，也不能区别变价元素的价态。