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[多选题]晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有的答案
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晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。
多选题
2021-12-26 20:20
A、除去光刻胶中剩余的溶剂
B、增强光刻胶对晶片表面的附着力
C、提高光刻胶的抗刻蚀能力
D、有利于以后的去胶工序
E、减少光刻胶的缺陷
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集成电路制造工艺员(三级)
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