智能制造是先进制造技术、（）及人工智能技术在制造装备上的集成和深度融合。

智能制造是先进制造技术、信息技术以及人工智能技术在制造装备上的集成和深度融合。实现制造向“智造”的转变，目前的关键技术主要有（）。

防爆工具以制造工艺区分也可分为铸造工艺和（）。

按照制造工艺可分为半导体集成电路、薄膜集成电路和（）集成电路。

集成电路工艺主要分为哪几大类，每一类中包括哪些主要工艺，各工艺的主要作用是什么？

（）工艺和成型工艺是精密零件制造经常采用和选择的。

集成运放制造工艺使得同类半导体管的（）。

在等离子体源离子注入中，当负高压脉冲（幅值V）加到金属靶上时，靶表面附近电子立即被排斥出鞘层区域，由于离子质量大，没有来得及运动，留下一个均匀的离子鞘层，设离子密度为常数n， 并假设在鞘层边界电场和电势为零，求平板、柱形和球形靶鞘层内电场和电势分布，以及鞘层厚度表达式。

()是将电解液中的金属离子在直流电的作用下，在阴极上沉积出金属而形成镀层的工艺过程。

()是将电解液中的金属离子在直流电的作用下，在阴极上沉积出金属而形成镀层的工艺过程。

（）是将电解液中的金属离子在直流电的作用下，在阴极上沉积出金属而形成镀层的工艺过程。

（　）是将电解液中的金属离子在直流电的作用下，在阴极上沉积出金属而形成镀层的工艺过程。