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在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。

多选题
2021-12-26 20:22
A、使薄膜的介电常数变大
B、可能引入杂质
C、可能使薄膜层间短路
D、使薄膜介电常数变小
E、可能使薄膜厚度增加
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正确答案
B| C

试题解析

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