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[多选题]在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的的答案
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在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。
多选题
2021-12-26 20:22
A、使薄膜的介电常数变大
B、可能引入杂质
C、可能使薄膜层间短路
D、使薄膜介电常数变小
E、可能使薄膜厚度增加
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B| C
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集成电路制造工艺员(三级)
集成电路制造工艺员
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